HiPIMS Puls-Plasmageneratoren MAGPULS HPP

HIPIMS PULS-STROMVERSORGUNGEN TYP MAGPULS HPP

Die Puls-Stromversorgungen der Serie MAGPULS HPP erzeugen - dank der kurzzeitig extrem hohen Strompulse - eine hochdichte Plasma-Intensität, wodurch eine hervorragende Beschichtungsqualität beim Hochleistungs-Impuls-Sputtern (HiPIMS) erreicht wird.

  • Hervorragende Schichteigenschaften bezüglich Verschleißschutz, Haftfestigkeit, Härte und Homogenität

  • Einfache Integration in bestehende Magnetron-Sputtersysteme

EINSATZGEBIETE

Neuartige PVD HiPIMS Sputterverfahren zur Erzeugung von Hartstoffschichten mit besonders guten Verschleiß- und Korrosionsschutzeigenschaften.

Pulsleistungen bis zu 12MW erzeugen eine extrem hohe Ionisationsdichte ohne dabei Materialtröpfchen (Droplets) zu bilden. Weitere Einsatzmöglichkeiten sind in der Plasma-Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-filling und Ätzen.

EIGENSCHAFTEN UND NUTZEN

MODELLÜBERSICHT

MP2-HC-200

MP2-HC-400

MP2-HC-750

MP2-HC-1000

MP2-HC-1500

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MAGPULS

Stromversorgungs GmbH

Geschäftsführer
Dipl. Ing. Dieter Schorn

E-Mail
info@magpuls.net

Im Unterfeld 19
D-76547 Sinzheim

Telefon
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Fax
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