Die bipolaren Pulsstromgeneratoren dienen zur Plasmaanregung auf höchstem Niveau. Mit ihrem modularen Aufbau bestehen sie aus der DC-Leistungseinheit und der nachgeschalteten bipolaren Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz mit wechselnder Polarität auf das Plasmasystem schaltet.
Mit einem Leistungsbereich von 1kW bis zu 600KW und dem einstellbaren Frequenzbereich von DC bis zu 100kHz bieten diese Pulsstromgeneratoren ein flexibles Angebot für alle Sputteranwendungen sowie höchst anspruchsvolle Plasma-CVD- und PVD-Prozesse. Im Gegensatz zu vielen MF-Generatoren kommen die MAGPULS BP Generatoren ohne zusätzliche Anpassungsnetzwerke aus. Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.
Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Pulsstromversorgungen über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus durch einen externen Rechner gesteuert werden.
Die bipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS BP sind für alle anspruchsvollen Plasmaprozesse mit höchstem Anspruch geeignet. Durch den weiten Leistungsbereich und der frei einstellbaren Pulsfrequenz eignen sich diese Pulsstromgeneratoren hervorragend zur Plasmaanregung bei der Herstellung von dekorativen Schichten, Hartstoffbeschichtungen, in der Herstellung von Flachbildschirmen sowie für großflächige Sputteranwendungen, insbesondere Doppel-Magnetron-Sputtern, für Architekturglas, Folien- und Textilbeschichtung.
MP2-35
MP2-100
MP2-200
MP2-400
Geschäftsführer
Dipl. Ing. Dieter Schorn
E-Mail
info@magpuls.net
Im Unterfeld 19
D-76547 Sinzheim
Telefon
+49 (0)7221 987 850
Fax
+49 (0)7221 987 454
