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MAGPULS GmbH: Puls-Plasmageneratoren unipolar

Unipolare Pulsstromversorgungen der Serie MAGPULS UP

Die unipolaren Pulsstromgeneratoren sind modular aufgebaut und bestehen aus einer DC-Leistungseinheit und der eigentlichen Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz auf das Plasmasystem schaltet.
Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.

Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Parameterwerte über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus über einen externen Rechner gesteuert werden.

Einsatzgebiete:

Die unipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS UP sind für anspruchsvolle Plasmaprozesse mit hohem ARC-Verhalten bestens geeignet. Durch ihren weiten Leistungsbereich liefern sie höchste Leistungen und eignen sich für die folgenden Anwendungen:

• Bias-Versorgung für PE-CVD- und PVD - Prozesse
• Puls-Plasma Nitrieren
• Single Magnetron Sputtern

Eigenschaften und Nutzen:

Frequenz- und Pulsparameter frei einstellbar -> universeller Einsatz an unterschiedlichen Prozessen mit einem Generator

Schnelle ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten

Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützte Beschichtungsprozesse mit Plasma-Vorbehandlung durch Plasma Ätzen oder Reinigen

Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität

Modellübersicht

Modelle	max. Leistung	Puls Strom	Spannung	max.DC Strom	Frequenz
MAGPULS 1000/1.5/10 up	1.5kW	0 - 10A Pulse	0 - 1000V	2.4A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/2/15 up	2kW	0 - 15A Pulse	0 - 1000V	2.8A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/3/35 up	3kW	0 - 30A Pulse	0 - 1000V	4.2A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/6/60 up	10kW	0 - 60A Pulse	0 - 1000V	20A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/50/100 up	20kW	0 - 100A Pulse	0 - 1000V	50A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/50/150 up	30kW	0 - 150A Pulse	0 - 1000V	50A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/100/200 up	40kW	0 - 200A Pulse	0 - 1000V	100A DC	DC / 0.5Hz - 100kHz
MAGPULS 1000/120/600 up	100kW	0 - 600A Pulse	0 - 1000V	300A DC	DC  / 0.5Hz - 50kHz
MAGPULS 1000/500/1000 up	200kW	0 - 1000A Pulse	0 - 1000V	600A DC	DC  / 0.5Hz - 50kHz

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Magpuls

Stromversorgungs Systeme GmbH

Dipl. Ing. Dieter Schorn
Geschäftsführer

Im Unterfeld 19
D-76547 Sinzheim

Tel.: +49 (0) 72 21 . 98 78 50
Fax: +49 (0) 72 21 . 98 74 54
E-Mail: info∂magpuls.de