MAGPULS GmbH: Puls-Plasmageneratoren bipolar
Bipolare Pulsstromversorgungen der Serie MAGPULS BP
Die bipolaren Pulsstromgeneratoren dienen zur Plasmaanregung auf höchstem Niveau. Mit ihrem modularen Aufbau bestehen sie aus der DC-Leistungseinheit und der nachgeschalteten bipolaren Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz mit wechselnder Polarität auf das Plasmasystem schaltet.
Mit einem Leistungsbereich von 1kW bis zu 600KW und dem einstellbaren Frequenzbereich von DC bis zu 100kHz bieten diese Pulsstromgeneratoren ein flexibles Angebot für alle Sputteranwendungen sowie höchst anspruchsvolle Plasma-CVD- und PVD-Prozesse. Im Gegensatz zu vielen MF-Generatoren kommen die MAGPULS BP Generatoren ohne zusätzliche Anpassungsnetzwerke aus. Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden.
Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Pulsstromversorgungen über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus durch einen externen Rechner gesteuert werden.
Einsatzgebiete:
Die bipolaren Pulsstromgeneratoren der Serie MAGPULS BP sind für alle anspruchsvollen Plasmaprozesse mit höchstem Anspruch geeignet. Durch den weiten Leistungsbereich und der frei einstellbaren Pulsfrequenz eignen sich diese Pulsstromgeneratoren hervorragend zur Plasmaanregung bei der Herstellung von dekorativen Schichten, Hartstoffbe-schichtungen, in der Herstellung von Flachbildschirmen sowie für großflächige Sputteranwendungen, insbesondere Doppel-Magnetron-Sputtern, für Architekturglas, Folien- und Textilbeschichtung.
Eigenschaften und Nutzen:
Frequenz- und Pulsparameter frei für positive -> universeller Einsatz an unter- und negative Polarität einstellbar schiedlichen Prozessen mit einem Generator
5 Pulsmodi von DC über unipolaren Pulsmod -> Flexibel über alle Prozessan- bis bipolaren Pulsmod forderungen durchgängig einstellbar
Spannungsregelung von 10V bis 1000V -> Höchste Flexibilität bei Bias unterstützte Beschichtungsprozesse mit Plasma, Vorbehandlung durch Plasma Ätzen oder Reinigen
Präzise ARC-Erkennung und -Abschaltung -> Vermeidung von Tröpfchenbildung und Oberflächendefekten
Schnelle DSP-Kontrolle -> Hohe Prozessstabilität
Modellübersicht
Modelle |
max. Leistung |
Puls Strom |
Spannung |
max.DC Strom |
Frequenz |
|---|---|---|---|---|---|
| MAGPULS 1000/1.5/10 bp | 1.5kW | 0 - 10A Pulse | 0 - 1000V | 2.4A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/2/15 bp | 2kW | 0 - 15A Pulse | 0 - 1000V | 2.8A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/3/35 bp | 3kW | 0 - 30A Pulse | 0 - 1000V | 4.2A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/6/60 bp | 10kW | 0 - 60A Pulse | 0 - 1000V | 20A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/50/100 bp | 20kW | 0 - 100A Pulse | 0 - 1000V | 50A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/50/150 bp | 30kW | 0 - 150A Pulse | 0 - 1000V | 50A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/100/200 bp | 40kW | 0 - 200A Pulse | 0 - 1000V | 100A DC | DC / 0.5Hz - 100kHz |
| MAGPULS 1000/150/400 bp | 60kW | 0 - 400A Pulse | 0 - 1000V | 150A DC | DC / 0.5Hz - 75kHz |
| MAGPULS 1000/200/600 bp | 100kW | 0 - 600A Pulse | 0 - 1000V | 200A DC | DC / 0.5Hz - 75kHz |
Magpuls
Stromversorgungs Systeme GmbH
Dipl. Ing. Dieter Schorn
Geschäftsführer
Im Unterfeld 19
D-76547 Sinzheim
Tel.: +49 (0) 72 21 . 98 78 50
Fax: +49 (0) 72 21 . 98 74 54
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Bipolar-Pulsgeneratoren
Serie MAGPULS BP
