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MAGPULS GmbH: HiPIMS Puls-Plasmageneratoren

HiPIMS Puls-Stromversorgungen Typ MAGPULS HPP

Die Puls-Stromversorgungenen der Serie MAGPULS HPP erzeugen - dank der kurzzeitig extrem hohen Strompulse - eine hochdichte Plasma-Intensität, wodurch eine hervorragende Beschichtungsqualität beim Hochleistungs-Impuls-Sputtern (HiPIMS) erreicht wird.

• Hervorragende Schichteigenschaften bezüglich Verschleissschutz, Haftfestigkeit, Härte und Homogenität
• Einfache Integration in bestehende Magnetron-Sputtersysteme

Einsatzgebiete:

Neuartige PVD HiPIMS Sputterverfahren zur Erzeugung von Hartstoffschichten mit besonders guten Verschleiß- und Korrosionsschutzeigenschaften.

Pulsleistungen bis zu 12MW erzeugen eine extrem hohe Ionisationsdichte ohne dabei Materialtröpfchen (Droplets) zu bilden. Weitere Einsatzmöglichkeiten sind in der Plasma-Vorbehandlung von Oberflächen und Trench-filling und Ätzen.

Eigenschaften und Nutzen:

Aktive ARC-Unterdrückung -> Vermeidung von Tropfenbildung bei erstklassiger Oberflächengüte

Limitierung des Pulsstroms -> Einfache Anpassung an die verschiedenen Prozessbedingungen zur Vermeidung von Überhitzungen am Substrat oder Magnetron

Pulsleistungen bis zu 12MW -> Ausgezeichnete Flexibilität für Prozesse in Forschung und Industrie

Regelung der Puls- und Pulspausezeiten -> Optimale Prozessstabilität und Schichtkontrolle

Modellübersicht

Modelle	max. Puls- Leistung	Puls Strom	Spannung	FrequEnz	Pulsdauer
MAGPULS 1000/1000 HPP	1MW	0 - 1000A	0 - 1000V	1kHz	10µs – 300µs
MAGPULS 1000/2000 HPP	2MW	0 - 2000A	0 - 1000V	1kHz	10µs – 300µs
MAGPULS 2000/1000 HPP	2MW	0 - 1000A	0 - 2000V	1kHz	10µs – 300µs
MAGPULS 2000/2000 HPP	4MW	0 - 2000A	0 - 2000V	1kHz	10µs – 300µs
MAGPULS 2000/3000 HPP	6MW	0 - 3000A	0 - 2000V	1kHz	10µs – 300µs

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Magpuls

Stromversorgungs Systeme GmbH

Dipl. Ing. Dieter Schorn
Geschäftsführer

Im Unterfeld 19
D-76547 Sinzheim

Tel.: +49 (0) 72 21 . 98 78 50
Fax: +49 (0) 72 21 . 98 74 54
E-Mail: info∂magpuls.de