MAGPULS GmbH: DC-Sputterversorgungen
Die DC-Sputterstromversorgungen sind sehr kompakt aufgebaute Gleichspannungsgeneratoren in den Leistungsbereichen von 1kW DC bis zu 30kW DC.
Die Generatoren sind ideal sowohl zur Versorgung von kleinen Magnetrons in Produktions- und Laboranlagen als auch von Magnetrons in Großflächenbeschichtung zur Abscheidung von leitfähigen Materialien.
Das integrierte ARC-Handling arbeitet extrem schnell und vollautomatisch, so dass keine Parameter eingestellt werden müssen. Durch ein spezielles Schaltungskonzept lassen sich die Generatoren parallel schalten, wodurch eine Leistungserhöhung bis auf 240kW DC möglich ist.
Einsatzgebiete:
Die DC-Sputterstromversorgungen sind besonders geeignet für einfachere Sputterprozesse insbesondere für Single Magnetron als auch Dual-Magnetron zur Abscheidung von elektrisch leitfähigen Substraten, z.B.: Beschichtung von Solarglas oder Architekturglas.
Eigenschaften und Nutzen:
Sehr schnelle ARC-Löschung und -> Höherer Produktionsertrag Wiederholrate
Sehr kompakte Bauform bei hoher -> Einfache Integration auch bei Leistungsdichte bereits bestehenden Systemen
Bewährte Analogtechnik -> Hohe Verfügbarkeit bei minimalem Wartungsaufwand
Modellübersicht
Modelle |
max. Leistung |
Spannung |
max.DC Strom |
Kühlung |
|---|---|---|---|---|
| MAGS 15/1000 | 1.5kW | 0 - 1000V | 2.4A DC | Luft |
| MAGS 20/1000 | 2kW | 0 - 1000V | 2.8A DC | Luft |
| MAGS 30/1000 | 3kW | 0 - 1000V | 4.2A DC | Luft |
| MAGX 80/1000 | 8kW | 0 - 1000V | 16A DC | Wasser |
| MAGX 100/1000 | 10kW | 0 - 1000V | 20A DC | Wasser |
| MAGX 150/1000 | 15kW | 0 - 1000V | 30A DC | Wasser |
| MAGSW 200/1000 | 20kW | 0 - 1000V | 35A DC | Wasser |
| MAGSW 300/1000 | 30 kW | 0 - 1000V | 50A DC | Wasser |
Magpuls
Stromversorgungs Systeme GmbH
Dipl. Ing. Dieter Schorn
Geschäftsführer
Im Unterfeld 19
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